В СПбПУ создан безмасочный нанолитограф

Сотрудники СПбПУ создали установки, решившие вопрос суверенитета страны по направлению в области микроэлектроники.

Установка безмасочной нанолитографии позволяет создать изображение на подложке. Этот вариант дешевле, чем литография, имеющая шаблон. Специалисты разработали ПО для управления литографом. Все процессы автоматизированы.

Установка плазмохимического травления создает кремниевые мембраны. Отечественные мембраны превосходят по чувствительности те, что разработаны методом лазерного травления.

"Использование нанолитографии возможно для решения ряда задач. В радиолокационной технике можно увеличить срок службы устройств в 20 раз. Технология позволяет приборам функционировать в плохую погоду с сохранением работоспособности", — рассказали ученые, добавив, что планируют совершенствовать обе установки.